乍一看,光刻机和蚀刻机很接近,但是光刻机和蚀刻机不能混为一谈,因为蚀刻只是制作芯片的环节之一。而蚀刻机只是众多芯片制造设备中的一种。让我告诉你一些关于蚀刻机的事情。
如果把制造芯片比作盖房子,光刻机的作用就是在地上标出房子的结构。蚀刻机是光刻完成后登场的设备,也是光刻完成后最重要的设备之一。蚀刻机的主要作用是根据已经在光刻机中标记的线条做基础结构的建设,去掉不需要的地方,只留下光刻工艺中标记的线条。
结构不同
光刻机最重要的核心技术是光源和光路,其主要组成部分有四个,包括光源、曝光、检测和其他高精度机械。相比之下,蚀刻机的结构就简单多了,主要由等离子射频源、反应室和真空气路组成。
售价不同
ASML光刻机的EUV价格高达1.2亿美元,而蚀刻机的价格要低得多,每台几十万到几百万美元不等。
关于蚀刻机的工作原理我之前发过帖子。有兴趣的可以去我的主页找,这里不做过多描述。
中国制造的蚀刻机为中国半导体领域树立了一个好榜样。中国微半导体研发出国际主流5nm蚀刻机并获得TSMC认证后,美国商务部将蚀刻机从对华出口限制名单中移除。这充分说明了一件事,只要你掌握了核心技术,对手就再也压制不住你了。
总的来说,中国在半导体领域还是比较落后的,还有很长的路要走,但是只要坚持下去,一定会看到彩虹。
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